吉時利(Keithley)推出新的脈沖式半導體器件特性測量方案 (2005-08-10)
發(fā)布時間:2007-12-04
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美國俄亥俄州克里夫蘭市近日報導??吉時利 (Keithley) 儀器公司 (NYSE: KEI) 是為不斷增長的測量需求提供解決方案的領(lǐng)導者,宣布在4200型半導體特性分析系統(tǒng)中新增加了脈沖信號發(fā)生和測量功能,支持脈沖式的半導體特性分析功能。新的PIV(脈沖I-V)子系統(tǒng),更便于進行高介電(High-k)材料、熱敏感器件和先進存儲芯片等的前沿技術(shù)研究,使其測量更加準確,產(chǎn)品投入市場更加快速。這是第一款商用化的集成了精確、可重復的脈沖和DC測量于一體的解決方案,而且使用非常方便。
脈沖I-V (簡稱PIV)子系統(tǒng)是吉時利公司Model 4200-SCS系統(tǒng)的一個新增選項。Model 4200-SCS系統(tǒng)適用于實驗室級別的精準DC特性測量和分析,具有亞飛安級的微電流分辨率和實時繪圖、數(shù)據(jù)分析和處理能力。該系統(tǒng)集成了目前最先進的半導體特性分析性能,包括一臺帶有Windows XP操作系統(tǒng)和大容量存儲器的嵌入式PC機。
Model 4200-SCS PIV子系統(tǒng)有著廣泛的用途。它是唯一一種適合解決高介電High-k介質(zhì)的集成電路(例如界面態(tài))和65nm及更小尺寸工藝的新器件熱特性(例如SOI和FinFET器件)的問題的工具。其他的應用包括電荷泵(Charge Pumping),AC stress失效機理的測試和其他的脈沖和時鐘方面的應用。
Model 4200-SCS PIV子系統(tǒng)對于在半導體TD(Technology Development)、PD(Product Development)和可靠性實驗室,以及材料和器件研究實驗室中的工程師和管理者來說是非常理想的選擇。包含了樣例測試方案可使學習曲線變短,從而提高生產(chǎn)能力,直觀易用的軟件使得測試和特性表征更加快速,從而提高產(chǎn)能。因而,任意一個需要在實驗臺上進行DC和脈沖測試的半導體實驗室都將從Model 4200-SCS PIV子系統(tǒng)中受益。